防锈防腐蚀：真空泵油可以在金属表面形成防腐膜，防止因吸入腐蚀性气体和水分导致的系统腐蚀。

清洁：通过循环流动，将真空泵零件上的附生成物、油泥、金属磨损颗粒等脏东西带回油箱，达到清洗清洁的效果。

密封防漏：真空泵油可以在有相对运动的零件间形成油膜

冷却降温：真空泵油将压缩室中的部分热量带回油箱，通过风扇将热量散发至周围环境中，起到帮助冷却真空泵的作用。